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SRM640標(biāo)準(zhǔn)硅粉的來源和認(rèn)證

東莞市百順生物科技有限公司

SRM640標(biāo)準(zhǔn)硅粉從Siltronic AG(德國慕尼黑)獲得。粉碎由Hosokawa Micron Powder Systems(Summit,NJ)進(jìn)行。


SRM640標(biāo)準(zhǔn)硅粉的認(rèn)證方法:使用NIST制造的衍射儀[3]的數(shù)據(jù)進(jìn)行認(rèn)證,并使用Pawley方法通過基本參數(shù)法(FPA)進(jìn)行分析。這些分析用于驗(yàn)證均勻性和驗(yàn)證晶格參數(shù)。按照國際單位制(SI)的定義,通過使用Cu Kα輻射的發(fā)射光譜作為構(gòu)建衍射輪廓的基礎(chǔ),建立了認(rèn)證晶格參數(shù)值與基本長度單位的聯(lián)系。


使用FPA,衍射輪廓被建模為描述波長光譜、衍射光學(xué)器件的貢獻(xiàn)以及微結(jié)構(gòu)特征產(chǎn)生的樣品貢獻(xiàn)的函數(shù)卷積。對發(fā)散光束儀器的數(shù)據(jù)進(jìn)行分析需要了解衍射角和有效源樣品檢測器距離。因此,F(xiàn)PA分析中還包括兩個(gè)額外的模型,以說明樣本高度和衰減的影響。根據(jù)對測量誤差性質(zhì)的了解,在統(tǒng)計(jì)分析分配的A類不確定性和B類不確定性的背景下對認(rèn)證數(shù)據(jù)進(jìn)行分析,以確定認(rèn)證值的穩(wěn)健不確定性。


在粉碎之前驗(yàn)證單晶硅材料的均勻性。這些測量是在NIST晶格比較設(shè)備[7]上使用從所提供材料中獲得的11個(gè)晶體樣品進(jìn)行的??偣策M(jìn)行了32次晶格比較測量,涵蓋了縱向和徑向的晶球方向。


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